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當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  勻膠機(jī) 旋涂儀  >  小型勻膠機(jī)  >  JW-A5桌面式小型勻膠機(jī)旋涂儀
型號:JW-A5

桌面式小型勻膠機(jī)旋涂儀

描述:桌面式小型勻膠機(jī)旋涂儀英文SPIN COATE 或者SPIN PROCESSOR ,又稱甩膠機(jī),勻膠臺,旋轉(zhuǎn)涂膜儀,旋涂儀。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)廠家
  • 更新時間

    2025-04-08
  • 訪問量

    351
詳細(xì)介紹
品牌君為科技

桌面式小型勻膠機(jī)旋涂儀

產(chǎn)品介紹:

勻膠機(jī)是一種用于在基片表面均勻涂覆光刻膠或其他功能性涂層的精密設(shè)備,工作原理是通過高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)

生的離心力,將滴加在基片中心的光刻膠均勻地甩開,并在基片表面形成一層厚度均勻、表面平整的膠膜。

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造(晶圓涂膠)平板顯示(玻璃基板涂膠)光學(xué)元件(透鏡、棱鏡等涂膠)、太陽能

電池(硅片涂膠)生物芯片(基片涂膠)等工藝中。

桌面式小型勻膠機(jī)旋涂儀

產(chǎn)品特點(diǎn):

l 可載基片尺寸:φ10-φ100mm 圓片或最大100*100mm方片

l 7寸全彩觸摸屏,高級PLC控制,設(shè)置程序和真空吸附一鍵啟動按鈕, 操作方便

l 可單步和多步(5組5步)勻膠操作

l 工業(yè)級馬達(dá),旋轉(zhuǎn)平穩(wěn),運(yùn)行穩(wěn)定

l 溶劑PC透明蓋;盆腔PP材質(zhì),耐腐蝕

l 真空泵與勻膠機(jī)同步工作,勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn), 真空泵就啟動,勻膠機(jī)停止,真空泵就停止

l 專有防堵設(shè)計,易于清潔

l 配有負(fù)壓表,可實(shí)時觀察片子是否吸緊,是否漏氣

技術(shù)參數(shù):

1.標(biāo)配三種真空吸盤(φ10mm,φ20mm,φ45mm)
  φ10mm吸盤(可載基片最小φ10mm   最大φ20mm)
  φ20mm吸盤(可載基片最小φ20mm   最大φ47mm)
  Φ45mm吸盤(可載基片最小φ47mm   最大φ55mm)

2. 轉(zhuǎn)速范圍:99-12000RPM               3.  轉(zhuǎn)速分辨率:  1RPM

4. 加速可調(diào)范圍:99-10000RPM           5. 最大單步步長:4000S

6. 時間分辨率:0.1S                    7.  操控方式:7寸觸摸屏

8.  單步或多步運(yùn)行可選,最多可設(shè)置5組5步程序

9.  減速可調(diào)范圍:300-3000RPM

10.  真空輸入:0.06-0.09Mpa,真空流量最小15L/Min

11. 真空接口:設(shè)備后面板出口外徑6mm

12. 電源輸入:220V 150W

13. 外形尺寸:335mm(D)x228mm(W)x215mm(H)













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